奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科
グリーンデバイス研究室〔中村研究室〕
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主な実験装置

高真空昇華精製/気相結晶成長装置
(独自設計)

UV/O3処理装置 & DCスパッタ装置

UHV RFマグネトロンスパッタ装置

金属用真空蒸着装置

高速分子線蒸着実験装置
(独自開発)

高速分子線蒸着セル
(独自開発)

有機無機多元蒸着装置
(独自設計) with
循環精製型グローブボックス

循環精製型グローブボックス
with 有機無機多元蒸着装置

DCマグネトロンスパッタ装置

熱酸化炉

グローブボックス各種

基板処理用クリーンベンチ

ホットプレス装置

CNT複合材料紡糸装置

CNT複合材料糸引き上げ装置

ドラフトチャンバー1&2

ドラフトチャンバー3
&スピンコーター

  • その他
    • 遠心分離器
    • 超純水製造装置
    • その他いろいろ

触針式段差計

エリプソメータ

GB仕様プローバー

半導体パラメータアナライザ

高真空走査型プローブ顕微鏡(汎用)

原子間力顕微鏡ポテンショメトリ装置(AFMP)
(独自開発!)

高真空走査型プローブ顕微鏡(汎用)

紫外可視近赤外分光光度計

分光蛍光光度計

熱電特性評価装置1号
・超高抵抗試料対応
・超高真空 in-situ
・Kセルx2
(独自開発!)

熱電特性評価装置2号(PPMS)
・比熱測定
・サーマルトランスポート
・ZT

熱電特性評価装置3号
・粉末状試料対応
・モジュール測定
(独自開発!)

熱電特性評価装置4号
・雰囲気制御対応
(独自開発!)

熱伝導率測定装置1号
(TWA法)
・室温、高熱伝導率試料用
・熱拡散率を測定

熱伝導率測定装置2号
(TWA法)
・温度可変測定用
・熱拡散率を測定

熱伝導率測定装置3号
(3ω法)
・ワイヤ状試料用
・熱伝導率を測定

化学計算用GPUクラスター

fsレーザー+THz時間領域分光(THz-TDS)装置
(独自設計)

放射光GIXD用ドリフトフリー温度可変チャンバー
(岩手大吉本研と共同開発)

ソーラーシミュレータ

太陽電池用
外部量子効率評価装置

インピーダンス分光用
LCRメーター

  • その他
    • C-V評価システム
    • 光学顕微鏡
    • 有機半導体デバイスシミュレータ
    • その他いろいろ

よく使う共用装置など

X線回折装置@SPring-8

  • リソグラフィー用露光装置
  • インクジェット成膜装置
  • X線回折(XRD)装置
  • 顕微ラマン分光装置
  • X線光電子分光(XPS)装置
  • 二次イオン質量分析(SIMS)装置
  • 分光感度・内部量子効率測定装置(CEP-2000RP)
  • 大気中光電子分光装置(AC-3)
この他にも、充実した研究科共通設備を随時使用します。