NAIST 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 ~光ナノサイエンス~

情報機能素子科学研究室

教員 / 連絡先
教員教授: 浦岡 行治
准教授: 石河 泰明
助教: 上沼 睦典
助教: 藤井茉美
特任助教: Bermundo Juan Paolo Soria
キーワードディスプレイ,メモリ,薄膜トランジスタ,生体超分子,ウェアラブルコンピュータ
連絡先TEL:0743-72-6060
研究室URLhttp://mswebs.naist.jp/LABs/uraoka/index.html

私たちの回りには,テレビ,パソコン,携帯電話など,生活に欠かすことのできないものがたくさんありますが,これらはシリコンを中心とした半導体デバイスによって構成されています.本研究室では,このような次世代情報化社会を支える情報機能素子の研究を行っています.私たちの研究室の特徴は,シリコン基板の上に,様々な新しい材料を導入し,その材料の特長を生かした半導体素子を自らの手で設計し,作製することです.すなわち,物づくりを基本として,世の中にない新しい機能をもった半導体デバイスを作製しています.

シリコンなどの薄膜にレーザを照射すると,その結晶性は見事に変化し,ガラスやプラスチックの基板の上に,高性能なLSIやディスプレイを作製することができます.また,酸化亜鉛などを原子層レベルで堆積すると,低い温度で,性能の高いスイッチが作ることができます.このような手法を用いて,高性能情報端末を研究しています.

タンパクなどの生体超分子は,もともとナノメータのサイズであり,均一で自己組織化能力という,すぐれた性質を持っています.私たちは,このバイオ系材料を,半導体プロセスに生かした非常にめずらしい研究を行っています.すでに,この新しいプロセスを使って,ディスプレイやメモリなどの作製に成功し,さらなる新しい応用としてMEMSやバイオセンサーの研究も開始しています.

硫化亜鉛などの微粒子を使って,蛍光体の研究を行っています.この材料は,電圧を加えると,微粒子の内部で,電子とホールの再結合によって,光が発生し,EL蛍光体として使うことができます.印刷技術で作れるために,プラスチック基板の上に蛍光体を塗布することが可能です.私たちは,このようにして,フレキスブルなディスプレイや,ウェアラブルなコンピュータを目指した情報端末の実現を目指した研究を行っています.

物質内での電子,光,音波の相互作用について解析し,原子・分子のレベルまで立ち返っての構造解析や物性理解をもとに,機能性酸化物材料の薄膜創成や微細加工,新規圧電材料やPTCサーミスタ材料の開発の研究を行っています.

B. Zheng, I. Yamashita, M. Uenuma, K. Iwahori, M. Kobayashi, and Y. Uraoka, “Site-directed delivery of ferritin-encapsulated gold nanoparticles”, Nanotechnology, 21, No.4, 045305, (2010)

L. Lu, T. Nishida, M. Echizen, K. Uchiyama, and Y. Uraoka, “Annealing and Composition Effects of (BaxSr1-x)Ta2O6 Thin Films Fabricated by Sol-Gel Method”, Jpn. J. Appl. Phys., 49, 09MA14-1 (2010)

Y. Kawamura and Y. Uraoka, “ZnO Thin Film Transistors fabricated by atomic layer deposition”, Proceedings of the Fall Meeting of Material Research Society, 1201, 1201-H10-27, (2009)

L. Lu, M. Echizen, T. Nishida, K. Uchiyama, and Y. Uraoka, “Fabrication and Evaluation of SrTa2O6 Thin Films Using Chemical Solution Deposition Method”, Proceedings of the sixth Thin-Films Materials and Devices Meeting, 100228043-1, (2009)

E. Machida, Y. Uraoka,T. Fuyuki, R. Kokawa, T. Ito, and H. Ikenoue, “Characterization of local electrical properties of polycrystalline silicon thin films and hydrogen termination effect by conductive atomic force microscopy”, Appl. Phys. Lett., 94, 182104, (2009)

K. Ohara, I. Yamashita, T. Yaegashi, M. Moniwa, H. Yoshimaru, and Y. Uraoka, “Floating gate memory with biomineralized nanodots embedded in High-k gate dielectric”, Applied Physics Express, 2, 095001, (2009)

M. Fujii, Y. Uraoka, T. Fuyuki, J. S. Jung and J. Y. Kwon, “Experimental and Theoretical Analysis of Degradation in Ga2O3-In2O3-ZnO Thin-Film Transistors”, Jpn. J. Appl. Phys., 48, 04C091-1, (2009)

Y. Tojo, A. Miura, Y. Uraoka, T. Fuyuki, and I. Yamashita, “Controlled Reduction of Bionanodots for Better Charge Strage Characteristics of Bionanodots Flash Memory”, Jpn. J. Appl. Phys., 48, 04C190-1, (2009)

– Y. Tojo, The 2010 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai (IMFEDK 2010), Student Paper Award
– O. Kosuke, The 2009 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai (IMFEDK 2009), Student Paper Award
– M. Fujii, The Fifteenth International Workshop on Active- Matrix Flatpanel Displays and Devices, Best Student Award

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