NAIST 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 ~光ナノサイエンス~

情報機能素子科学研究室の町田絵美さんがIDW’12国際会議においてBest Paper Awardを受賞

2012年12月4日~7日に京都国際会議場にて開催されたIDW/AD’12(The 19th International Display Workshops)国際会議において,情報機能素子科学研究室の町田絵美さん(博士後期課程3年)がBest Paper Awardを受賞しました.同賞は,フレキシブルディスプレイの部門での発表者(95件)の中から最優秀1名に贈られるものです.

Super Low-Temperature Formation of Polycrystalline Silicon Films on Plastic Substrates by Underwater Laser Annealing

町田絵美(D3学生),堀田昌宏(助教),石河泰明(准教授),浦岡行治(教授),奥山哲雄(東洋紡績),池上浩(九州大学)

この度IDW/AD国際会議におきまして,とても素晴らしい賞をいただくことができ,大変光栄に感じております.この受賞を励みに,本研究の更なる進展を目指したいと思います.本研究を進めるにあたり,実験環境や試料のご提供ならびに有益なご助言を数多くいただきました,九州大学池上准教授と東洋紡績株式会社の奥山様にこの場をお借りしまして御礼申し上げます.また,浦岡教授をはじめ,石河准教授,堀田助教授や日頃よりご指導ご鞭撻を賜りました諸先生方に心より感謝いたします.最後に,日頃より良き相談相手となり精神的な支えとなってくれた研究室のメンバーに深く感謝いたします.

本発表は,高精細型フラットパネルディスプレイ用駆動素子として用いられている多結晶シリコン薄膜トランジスタの作製温度を低温化したものです.水中雰囲気でのレーザー照射を行うことで,上記トランジスタの作製温度を現行の500℃から環境温度室温にまで低温化できることを示し,プラスチック基板上での高品質多結晶シリコン薄膜の形成を実現しました.

情報機能素子科学研究室のホームページはこちらをご覧ください.

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