NAIST 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 ~光ナノサイエンス~

情報機能素子科学研究室の山崎はるかさんがIDW’12国際会議においてBest Paper Awardを受賞

2012年12月4日~7日に京都国際会議場にて開催されたIDW/AD’12(The 19th International Display Workshops)国際会議において、情報機能素子科学研究室の山崎はるかさん(博士前期課程2年)がBest Paper Awardを受賞しました。同賞は、アクティブマトリクスの部門での発表者(24件)の中から最優秀1名に贈られるものです。

The Influence of New SiNx Gate Insulator in a-InGaZnO Thin Film Transistors

山﨑はるか(M2),石河泰明(准教授),上岡義弘(D2),藤原将喜(日新電機株式会社),高橋英治(日新電機株式会社),安東靖典(日新電機株式会社),浦岡行治(教授)

IDWというディスプレイ関連の国際会議として高い注目を集める国際会議において,私たちの研究内容を高く評価していただいたことを大変光栄に感じております.
サンプルの提供並びに有益なご助言を数多くいただきました,日新電機株式会社 藤原将喜様,高橋英治博士,安東靖典博士にこの場をお借りしまして厚く御礼申し上げます.また,いつも丁寧にご指導くださる浦岡教授はじめ,石河准教授や日頃よりご指導ご鞭撻を賜りました諸先生方,先輩方に心より感謝いたします.本受賞を励みに,今後も研究に邁進いたします.
最後に,日頃より良き相談相手となり精神的な支えとなってくれた研究室のメンバーに深く感謝いたします.

本発表は,次世代ディスプレイへの応用が期待されている非結晶InGaZnO薄膜トランジスタの高信頼性化を実現したものです.絶縁膜の原料ガスとしてSiF4とN2を用いることで絶縁膜中に含まれる水素の量を減少させトランジスタの高信頼性化に成功しました.また,絶縁膜中にフッ素含むことでトランジスタの信頼性がさらに向上する可能性を示しました.これにより,非結晶InGaZnO薄膜トランジスタを用いた次世代ディスプレイの実現が期待されています.

 

情報機能素子科学研究室のホームページはこちらをご覧ください.

トピックス

  • Youtube 物質創成科学研究科・オフィシャルチャンネル
  • 大学へのアクセス・問合せ

ピックアップコンテンツ

  • 新領域を切り拓く光ナノ研究者の養成
  • ITP 若手研究者インターナショナルトレーニングプログラム
  • ナノテクノロジープラットフォーム 分子・物質合成プラットフォーム
  • グリーンフォトニクス研究プロジェクト
    • 年間予定表
    • 物質創成科学研究科 公式Facebookページ