NAIST 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 ~光ナノサイエンス~

情報機能素子科学研究室の上岡義弘さん(博士後期課程3年)が応用物理学会春季講演会で講演奨励賞を受賞

2014年3月17日-20日に青山学院大学にて開催された応用物理学会春季講演会において,情報機能素子科学研究室の上岡義弘さん(博士後期課程3年)が講演奨励賞を受賞しました.同賞は応用物理学の発展に貢献しうる優秀な一般講演論文を発表した若手会員に対し授与されるものです.

アモルファスInGaZnO TFTにおける低温水素アニールの影響

上岡義弘(D3),石河泰明(准教授),Juan Paolo Bermundo(D2), 山﨑はるか(D1),浦川哲(D1),長田至弘(M2),堀田昌宏(助教),浦岡行治(教授)

この度は大変栄誉ある賞をいただき,大変光栄に思います.日頃から熱心にご指導くださる浦岡教授,石河准教授はじめ,研究を支えていただきました先生方,スタッフ,学生の皆様に厚く御礼申し上げます.また,本研究のきっかけとなるSPring-8での実験をご支援いただきました大門教授,松井准教授,および関係者の皆様に深く感謝致します.
  非晶質InGaZnOは日本発の材料ですが,世界各国,特にアジア諸国において盛んに研究が行われています.このような注目されている分野の研究に携わることができ,非常に多くの友人や先輩方とお会いできたことをうれしく思います.
  本賞を励みに,今後とも日本の物質科学の発展に貢献していきたいと思います.

本発表は,次世代ディスプレイへの応用が期待されている非結晶InGaZnO薄膜トランジスタにおける,特異的な水素の挙動を報告したものです.150℃付近において水素雰囲気で熱処理を行うと,導電性が大きく変化し,結合状態が異なることが示唆されました.また,膜中の水素濃度を調整することにより,トランジスタのスイッチング特性が回復することを明らかにしました.作製プロセスの低温化によって,プラスチック基板を用いた フレキシブルディスプレイなど次世代ディスプレイの実現が期待されています.

 

情報機能素子科学研究室のホームページはこちらをご覧ください.

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