NAIST 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 ~光ナノサイエンス~

IEEE「2010 IMFEDK」で情報機能素子科学講座の東條陽介君が「Student Paper Award」を受賞

2010年5月13日~14日に開催されたIEEEの国際会議The 2010 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai(2010 IMFEDK)において,情報機能素子科学講座の東條陽介君がポスター発表を行い,Student Paper Awardを受賞しました.

Location Controls of Crystallized Areas in Silicon Films Utilizing Cage Shape Protein

東條陽介

このたびIMFEDK2010においてStudent Paper Awardを戴いたことは,大変光栄に思います.
今回の受賞に関しまして,浦岡教授を始めとして,ご指導いただきました共同研究者の皆様,及び研究室の皆様に,この場を借りて深く御礼申し上げます.
今後も頂いた賞を励みに,バイオテクノロジーと半導体プロセスの融合領域研究に取り組んで参ります.

球殻状タンパク質の内部で形成されたNiナノ粒子を用いることで,シリコン薄膜結晶化における結晶核を低温で行う結晶化手法に関して,静電相互作用を利用した特異的吸着によって,結晶核形成位置を制御し,結晶粒界の位置制御を簡便なプロセスで実現した.

情報機能素子科学講座のホームページはこちらをご覧ください.

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