NAIST 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 ~光ナノサイエンス~

凝縮系物性学講座の前島尚行君が放射光表面科学部会・顕微ナノ材料科学研究会合同シンポジウム優秀ポスター賞を受賞

平成22年12月10,11日,凝縮系物性学講座の前島尚行君(博士前期課程2年)が,東京工業大学 蔵前会館で行われました放射光表面科学部会・顕微ナノ材料科学研究会合同シンポジウム優秀ポスター賞を受賞しました.

二次元光電子回折法によるSiC上のSiON薄膜の原子構造及び電子状態解析

(発表者)前島尚行(博士前期課程2年),
(共著者)松井文彦(助教),松井公佑(博士前期課程2年),松下智裕(JASRI/SPring-8),後藤謙太郎(博士後期課程3年),橋本美絵(特任助教),田中悟(九大工),大門寛(教授)

この度,放射光表面科学部会シンポジウムにおいてこのような賞を頂き,大変光栄に思います.熱心に御指導頂きました大門教授,松井助教をはじめ講座の皆様,ならびにSPring-8での実験や解析ソフトの開発などに多大なご協力をして頂いた,松下博士,サンプルを提供くださった田中教授に深く感謝いたします.今回の受賞を励みに,今後も研究活動に励んで参りたいと思います.

本研究はSiC上に成長した大気中でも安定な極薄酸窒化膜中のサイト選択的な電子状態を得ることを目的とした研究である.
現在SiCはワイドバンドギャップ,高絶縁破壊耐圧といった特徴からパワーデバイスへの応用が期待されているが,デバイスプロセスで必要とされる酸化膜を成長させたときに出来る不要な準位が電子の移動度を下げる原因となり問題となっている.この問題を解決する界面に不要な準位を持たない酸窒化膜が定量的低速電子回折の解析と走査トンネル顕微鏡による観察に基づいた構造モデルとともに報告された.さらに電子状態についても調べられたが,酸窒化膜中に存在する二つの酸素の電子状態を別々に観測することはできなかった.
本研究ではこの酸窒化膜をSPring-8 BL-25SUに設置されてある我々のグループが開発した二次元表示型球面鏡分析器(DIANA)を用いて二次元光電子回折及び二次元X線吸収端微細構造の測定を行った.測定結果を解析した結果報告されている構造モデルがおおむね正しいことを確認したうえでこれまで分けられなかった二つの酸素の電子状態を分離することに初めて成功した.

凝縮系物性学講座のホームページはこちらをご覧ください.

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