NAIST 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 ~光ナノサイエンス~

有機固体素子科学研究室の松原亮介特任助教が、第62回応用物理学会春季学術講演会においてPoster Awardを受賞

2015年3月11日〜14日に東海大学湘南キャンパスで開催された第62回応用物理学会春季学術講演会において、有機固体素子科学研究室の松原亮介特任助教(5月1日付で静岡大学学術院工学領域助教に異動)がPoster Awardを受賞しました。同賞は、応用物理学の発展に貢献しうる優秀なポスター講演を行った会員を表彰し、その成果を称えることを目的として、ポスター講演総数の概ね2%以内に授与されるものです。

超高速真空蒸着による有機薄膜成長とデバイス特性への影響

松原亮介(特任助教)、寺岡拓麻(2014年度M2)、小島広孝(特任助教)、中村雅一(特任教授)

この度は このような素晴らしい賞をいただき、大変光栄に思います。研究を進めるにあたり、実験を頑張ってくれた2014年度M2学生の寺岡君、有意義なアドバイスやコメントをいただいた中村先生、小島先生をはじめ、研究室の皆様に深く感謝いたします。また、本研究で開発した「高速分子線セル」の作製にご協力いただいた装置メーカーの方々にも深く感謝いたします。
今回の受賞を励みとし、さらなる研究の進展を目指して今後も研究教育活動に励んで参りたいと思います。

有機薄膜作製法の一種である真空蒸着法は、真空排気や成膜速度の安定制御に時間を要する、真空装置の導入維持管理にコストがかかる、といった理由から、産業化に向けたデバイス作製法としては不向きであると考えられてきました。本研究では、「高速分子線セル」と呼ばれる、キャピラリ状の開口部を有する準閉鎖型のるつぼを新たに開発することにより、従来の40倍以上という超高速成膜速度の安定制御に成功し、真空蒸着におけるデバイス作製時間の大幅な短縮を実現しました。また、成膜時間が短縮したことで成長中の有機薄膜への残留ガス混入も減ることから、真空度に対する要求も低くなり、真空装置にかかるコストの低減が期待できます。さらに、高速分子線セルのキャピラリ形状と成膜速度の最適化によって、熱平衡速度よりも高い運動エネルギーを有する分子線を発生させることができ、従来のるつぼを用いて作製するよりもデバイス特性が向上することを見出しました。

 

有機固体素子科学研究室のホームページはこちらをご覧ください。

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