NAIST 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 ~光ナノサイエンス~

情報機能素子科学研究室の浦川哲君(博士後期課程2年)が第62回応用物理学会春季学術講演会において講演奨励賞を受賞

2015年3月11日~14日に東海大学にて開催されました第62回応用物理学会春季学術講演会において,情報機能素子科学研究室の浦川哲君(博士後期課程2年)が講演奨励賞を受賞しました.同賞は3535件に渡る一般講演において,750件の口頭発表の中から36名の優秀者に授与されました.

塗布型a-InZnO薄膜トランジスタに向けた銀ナノペーストの印刷適性

浦川哲(D2),石河泰明(准教授),長田至弘(D2),藤井茉実(助教),浦岡行治(教授)

この度は,このような素晴らしい賞を頂き大変光栄に思います.また,本稿を受賞するにあたり,数多くの方々のご協力とご意見を頂きまして,重ねてお礼申し上げます.試料作成におきましては,貴重な材料をご提供頂きました共同研究の皆様,並びに試料解析でご協力頂きました藤田技術職員に感謝申し上げます.

近年,電子情報端末のウェアラブル化を可能とするために,スイッチング素子である薄膜トランジスタ(TFT)の柔軟性や,大量生産かつ低コストを追求したプリント化に多くの注目が集められています.そのTFT内部では半導体がスイッチングの役割を示しますが,本研究では高速スイッチングが可能な透明酸化物半導体(TAOS)に着目しています.
本稿ではTFTのプリント化を目指して研究を行い,電極層と半導体層に銀とTAOSを用いて,そのプリント作製を試みました.その結果,高速駆動かつ高信頼性のTAOS-TFTのプリント作製に成功しました.さらにプリントした銀とTAOSの界面の解析結果から,非常に低抵抗かつ隙間の無い接触状態を確認し,TAOS-TFTのプリント化の優位性を示しました.

 

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