NAIST 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 ~光ナノサイエンス~

凝縮系物性学研究室の比嘉友大君(博士前期課程2年)が第78回応用物理学会秋季学術講演会においてPoster Awardを受賞

2017年9月5日から8日にかけて開催された第78回応用物理学会秋季学術講演会において,比嘉友大君(博士前期課程2年)がPoster Awardを受賞しました。同賞は第79回応用物理学会秋季学術講演会で発表された1191件のポスター講演のうち、特に優れた講演を行った25名に対して授与されました。

活性ドーパント濃度の熱処理依存性

比嘉友大,武田さくら(助教),江波戸達哉,米田允俊,藤中秋穂,森田一帆,森本夏輝,A. K. R. Ang(名工大),Tan Xin,大門寛(教授),筒井一生(教授,東工大)

この度はこのような賞をいただくことができ,非常に光栄に思います。

本賞受賞にあたり,大門教授,武田助教をはじめ,ご指導・ご鞭撻を賜りました諸先生方,貴重な試料の提供と詳しい議論をいただきました東京工業大学の筒井教授にこの場をお借りして厚く御礼申し上げます。また,日頃より切磋琢磨しあえる仲間,どんな時も支えてくれた家族,友人の助力があっての受賞だと強く感じております。多くの方々の応援がいつもあることを心に留め,今後も本賞の理念である応用物理への貢献ができるよう,より一層研究に精進したいと思います。

半導体極浅領域の活性ドーパント濃度の測定は,デバイスの更なる発展に不可欠であり,産学を問わず,多くの研究がなされている。受賞者らはサブバンドの測定から活性ドーパント濃度を逆算する手法を開発し,実際にイオン打ち込みが行われたSiに対して適用した。その結果,極浅領域に高濃度の分布を持つ活性ドーパントが確認された。また,熱処理に依存して,その分布に変化が生じることを明らかにし,新手法の妥当性を証明した。

 

凝縮系物性学研究室のホームページはこちらをご覧ください。

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