NAIST 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学領域 ~光ナノサイエンス~

情報機能素子科学研究室の藤井茉美助教が第8回(2017年度) 女性研究者研究業績・人材育成賞(小舘香椎子賞)を受賞

2018年3月17日に早稲田大学 西早稲田キャンパスにおいて応用物理学会2017年度業績賞の授与式が挙行され、情報機能素子科学研究室の藤井茉美助教に第8回(2017年度)女性研究者研究業績・人材育成賞(小舘香椎子賞)の研究業績賞(若手)が授与されました。これは、小舘香椎子先生のご寄付を基金として設立され、応用物理学分野で顕著な研究・開発の成果を挙げた若手女性研究者の功績をたたえ授与されるものです。また、2017年3月18日に応用物理学会内において受賞記念講演が行われました。

酸化物半導体薄膜トランジスタの信頼性解析および高性能化に関する研究

物質創成科学研究科 情報機能素子科学 助教 藤井茉美

このような名誉ある賞をいただき、大変光栄に存じます。受賞者として恥じぬよう、精進してまいります。本賞は学生時代から継続して取り組んだ研究が対象となっており、浦岡教授、石河准教授、ならびにこれまでご指導いただきました全ての先生方、ご支援いただいたスタッフ、学生に深く感謝申し上げます。

InGaZnOを用いた酸化物半導体薄膜トランジスタ(OS-TFTs)は、東工大の細野・神谷教授らによって2003年に発表されましたが、その後、我々は電圧印加によってその電気特性が劣化していくことを報告しました。この現象を解析し、劣化メカニズム・劣化起源を解明することが課題でした。これまでに、OS-TFTsの電気的な劣化現象、発熱による劣化現象・発光現象などを初めて報告し、これ用いて劣化メカニズムの解明と信頼性改善に取り組んできました。特に素子の自己発熱による劣化加速は多くの論文に引用され、現在も改善すべき劣化現象の一つとして研究が行われています。我々の報告した技術が企業に取り入れられた例もあり、産業的にも貢献した研究です。

 

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