NAIST 奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学領域 ~光ナノサイエンス~

メゾスコピック物質科学研究室の梅田鉄馬さん(博士前期課程2年)が第15回薄膜材料デバイス研究会においてスチューデントアワードを受賞

2018年11月9-10日に京都の龍谷大学響都ホールにて開催された第15回 薄膜材料デバイス研究会においてメゾスコピック物質科学研究室の梅田鉄馬さんらがスチューデントアワードを受賞しました.。同賞は発表者53名の中から優秀学生発表者の5名に贈られるものです。

アモルファスInGaZnOを用いた透明フレキシブル薄膜熱電変換素子

梅田鉄馬, 上沼睦典, Jenichi Felizco, 石河泰明, 浦岡行治, 足立秀明

この度は第15回薄膜材料デバイス研究会において、私たちの研究成果を高く評価していただき、栄誉ある賞をいただいたことを、大変光栄に思います。今回の受賞に関しまして、メゾスコピック物質科学研究室の足立教授を始めとして、浦岡教授、石河准教授、上沼助教及びご指導いただきました情報機能素子科学研究室のスタッフの方々と研究室の皆様に、この場を借りて深く御礼申し上げます。本賞を励みに、今後とも研究活動に励んで行く所存であります。

近年、薄膜材料の熱電変換素子応用が期待されており、我々はIGZO薄膜の熱電デバイス応用について検討を行った。アモルファスIGZOは、透明・室温成膜可能・集積化が容易などの特長を持ち、薄膜トランジスタ分野においてはフレキシブルエレクトロニクスなどへの応用が研究されている。このアモルファスIGZOが熱電変換材料として利用できれば、透明フレキシブル熱電変換素子やセンシング素子などへの応用が可能であると考えられる。本研究では、微細プロセスを用いてPEN基板上にIGZO/(Au/Al)を1980個直列に繋ぎフォトレジストを用いてヒートガイドを形成することで完全透明フレキシブルな熱電変換素子の開発及び効率化に成功した。またこれまで我々が作製してきた熱電変換素子と比べ3倍以上の性能改善に成功した。

 

メゾスコピック物質科学研究室のホームページはこちらをご覧ください。

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