高真空昇華精製／気相結晶成長装置
（独自設計）

UV/O₃処理装置 & DCスパッタ装置

UHV RFマグネトロンスパッタ装置

金属用真空蒸着装置

高速分子線蒸着実験装置
（独自開発）

ロールツーロール高速分子線蒸着装置
（Kenix社）

高速分子線蒸着セル
（Kenix社と共同開発）

線形高速分子線蒸着セル
（Kenix社と共同開発）

ハイブリッドペロブスカイト用真空蒸着装置
（独自設計）

有機無機多元蒸着装置
（独自設計）　with
循環精製型グローブボックス

循環精製型グローブボックス
with 有機無機多元蒸着装置

DCマグネトロンスパッタ装置

熱酸化炉

自動ディスペンサーロボット

グローブボックス各種

基板処理用クリーンベンチ

ホットプレス装置

CNT複合材料紡糸装置

CNT複合材料糸引き上げ装置

ドラフトチャンバー１＆２

ドラフトチャンバー３
＆スピンコーター

• その他
  • 遠心分離器
  • 超純水製造装置
  • その他いろいろ

触針式段差計

エリプソメータ

ＧＢ仕様プローバー

半導体パラメータアナライザ

原子間力顕微鏡ポテンショメトリ装置（AFMP）
（独自開発！）

高真空走査型プローブ顕微鏡（汎用）

グローブボックスタイプ走査型プローブ顕微鏡（光照射c-AFM）
（カスタム品）

クローズドループタイプ走査型プローブ顕微鏡（光照射c-AFM）
（カスタム品）

周波数変調原子間力顕微鏡／ポテンショメトリ装置（FM-AFMP）
with 温度勾配試料ホルダ
（独自開発！）

紫外可視近赤外分光光度計

分光蛍光光度計

表面自由エネルギー解析装置（接触角）

ソーラーシミュレータ1

ソーラーシミュレータ2

太陽電池用
外部量子効率評価装置

インピーダンス分光用
LCRメーター

電気化学インピーダンス測定装置

熱電特性評価装置１号
・超高抵抗試料対応
・超高真空 in-situ
・Kセルx2
（独自開発！）

熱電特性評価装置２号（PPMS）
・比熱測定
・サーマルトランスポート
・ZT

熱電特性評価装置３号
・粉末状試料対応
・モジュール測定
（独自開発！）

熱電特性評価装置４号
・雰囲気制御対応
（独自開発！）

熱伝導率測定装置１号
（TWA法）
・室温、高熱伝導率試料用
・熱拡散率を測定

熱伝導率測定装置２号
（TWA法）
・温度可変測定用
・熱拡散率を測定

熱伝導率測定装置３号
（３ω法）
・ワイヤ状試料用
・熱伝導率を測定
（独自設計）

熱伝導率測定装置４号
（レーザー走査AC法）
・ワイヤ状試料用
・薄膜試料面内方向用
・熱拡散率を測定

引張試験機
in situ コンダクタンス測定機能付き

化学計算用GPUクラスター

fsレーザー+THz時間領域分光(THz-TDS)装置
（独自設計）

放射光GIXD用ドリフトフリー温度可変チャンバー
（岩手大吉本研と共同開発）

• その他
  • C-V評価システム
  • 光学顕微鏡
  • 有機半導体デバイスシミュレータ
  • その他いろいろ

X線回折装置@SPring-8

• リソグラフィー用露光装置
• インクジェット成膜装置
• Ｘ線回折(XRD)装置
• 顕微ラマン分光装置
• Ｘ線光電子分光(XPS)装置
• 二次イオン質量分析(SIMS)装置
• 分光感度・内部量子効率測定装置(CEP-2000RP)
• 大気中光電子分光装置(AC-3)