■ 装置予約システム ■
BNP/情報機能素子/共通
◆バイオナノプロセス実験施設

2013/6/24より
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利用時間のルール

・クリーンルーム[BNP101-103]
　-酸化拡散炉
　-RTA炉
　-EB蒸着装置
　-抵抗加熱蒸着装置
　-マスクアライナ
　-プラズマCVD
　-ICPエッチング
　-酸化物スパッタ装置
　-Si系スパッタ装置
　-UVオゾン処理装置
　-高圧水蒸気処理装置
　-グローブボックス
　-ドラフト

・評価室[BNP106]
　-高温プローバ
　-常温プローバ
　-原子間力顕微鏡
　-走査型トンネル顕微鏡
　-赤外線微小部分熱解析装置
　-200kV透過型電子顕微鏡*
　-走査型電子顕微鏡*

・セミナー室[BNP204]

*のページは技術職員の管理です.
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マニュアル等
(学内のみ,要ITCアカウント)