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Nobuo SasakiSatoshi Takayama, Rikuto Sasai, and Yukiharu Uraoka
"Isotropic TFT Characteristics in the {100}-Oriented Grain-Boundary-Free Laser-Crystallized Si Thin Films",
Crystals Vol.13, 130 (2023).
Presented Works
International conferences
Satoshi Takayama, Satoshi Takayama
"Comprehensive study of the TFTs fabricated in the (100)-oriented Grain-boundary-free silicon thin film obtained by green CW-laser lateral crystallization",
SID display week ’22, International Conference Center ,
San Jose McEnery Convention Center, 2022.5
国内学会 (Japanese)
髙山智之佐々木伸夫, Muhammad Arif, 浦岡行治
“高移動度薄膜トランジスタ作製に向けたCWレーザーアニール法による非晶質基板上Si薄膜の(100)面配向結晶化”,
第82回 応用物理学会秋季学術講演, 10p-N302-1, Online 2021.9.
髙山智之佐々木伸夫, 浦岡行治
“W レーザー結晶化 Si 薄膜のラマン分光”,
第69回 応用物理学会春季学術講演, 13.4 24p-E103-16, Online, 2022.3.
髙山智之佐々木伸夫, 浦岡行治
“Wレーザー結晶化Si薄膜上発生ピットの評価”,
第83回 応用物理学会秋季学術講演, 20a-A406-5, 東北大学 川内キャンパス. 2022.9.
髙山智之佐々木伸夫, 浦岡行治
“CLC-Si-TFTにおけるGrain-boundaryの影響”,
第70回 応用物理学会春季学術講演, 15p-B410-8, 上智大学 四ツ谷キャンパス 2023.3.
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IEEE EDTM 2023, P-002, Seoul, Korea, 2023.3. [Best post award]
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“Si薄膜の線状Agglomeration ”,
第70回 応用物理学会春季学術講演, 15p-B410-7, 上智大学 四ツ谷キャンパス 2023.3.
Research Interests
半導体工学, 薄膜トランジスタ, 低温ポリシリコン, レーザーアニール
Activities
応用物理学会 (JSAP)
Society of Information Display (SID)
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