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情報機能素子科学研究室の橋間裕貴さん(博士後期課程3年)が第80回応用物理学会秋季学術講演会において講演奨励賞を受賞

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2019年9月18日~21日に北海道大学にて開催されました第80回応用物理学会秋季学術講演会において、情報機能素子科学研究室の橋間裕貴さん(博士後期課程3年)が講演奨励賞を受賞しました。同賞は3,865件に渡る一般講演において,766件の口頭発表の中から39名の優秀者に授与されました。

センサ応用を目指した酸化物薄膜トランジスタの信頼性評価

橋間 裕貴、髙橋 崇典、石河 泰明、浦岡 行治

このたびはこのような賞をいただきありがとうございました。これもひとえに指導してくださった先生方や先輩のおかげだと感じています。特に、一緒に研究をしてくれた高橋君に深く感謝します。これを糧にこれからも精進してゆきたいと思います。

 薄膜トランジスタ(TFT)をセンサのトランデューサとして用いた化学センサの開発は、その検出対象に焦点を当てて盛んに行われてきた。しかし、社会への実装は数少ない。これは、TFTがトランデューサとしての信頼性を検証されていないからである。本研究では、透明酸化物半導体(AOS)の一つであるIn-W-Zn-Oを用いたTFTが高い繰り返し安定性を有している事に着目し、センサとして必要な安定性を有していることを見出した。また、このような高い信頼性から、アミノ酸とその分解物を官能基の差により高い精度で読み出すことに成功した。本研究成果は、AOS-TFTセンサが他の半導体材料を用いたTFTセンサと比較して高い能力を有している事を示唆している。

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