デバイス作製装置（一部） Device Fabrication Equipment


RFプラズマCVD装置 RF Plasma CVD	高密度プラズマエッチング装置 ICP-Reactive Ion Etching System	RFスパッタリング装置（酸化物専用） RF Magnetron Sputtering (Oxide)	RFスパッタリング装置（Si系専用） RF Magnetron Sputtering (Si-related)
酸化拡散炉 Furnace Annealing system	赤外線急速加熱炉 Rapid Thermal Anneal system	電子線加熱蒸着装置 Electron beam deposition system	抵抗線加熱蒸着装置 Resistive heating vapor deposition system
UV/O₃処理装置 UV Ozone system	高圧水蒸気処理装置 High pressure water vapor system	超臨界水処理装置 Supercritical water vapor system	グローブボックス Glove box
マスクアライナ/スピンコータ Mask Aligner/Spin Coater	スクラバ搭載ドラフトチャンバー Draft Chamber	マッフル炉 Muffle Furnace	原子層堆積装置（ALD） Atomic Layer Deposition
レーザードーピング装置 Laser Doping System	カーボンナノチューブCVD Carbon Nanotube CVD	スクリーン印刷装置 Screen Printing System	ダイヤモンドCVD Diamond CVD
スパッタコーター Sputter Coater	近接場ナノパターニング装置 Near-field nano-patterning system	超純水供給装置 Ultra pure water supply	ガスライン(O₂, H₂, Ar, SF₆, CF₄等) Gas lines (O₂, H₂, Ar, SF₆, CF₄)

デバイス解析装置（一部）
Device Characterization Equipment


半導体パラメータアナライザー Semiconductor Parameter Analyzer	プローバー（室温/高温） Prober (Room Temp. and High Temp.)	赤外線微小発熱解析装置 Infrared Imaging System	デジタルマイクロスコープ Digital Microscope
分光光度計 Spectrophotometer	恒温恒湿槽 Humidity Chamber	原子間力/プローブ顕微鏡 Atomic force microscopy system	フーリエ変換赤外分光光度計（FT-IR） Fourier-transform infrared spectroscopy
分光蛍光光度計 Spectrofluorophotometer	四探針抵抗率測定装置 Four point probe system	エミッション顕微鏡 Emission microscope	真空低温プローバー Vacuum low temperature prober
真空光照射プローバー Vacuum light irradiation prober	光電流/ライフタイム測定装置 Photocurrent / lifetime measuring device	EBIC-SEM EBIC-SEM	プローバー（2台） Prober (2 units)
LCRメータ LCR meter	走査型トンネル顕微鏡（STM） Scanning tunneling microscope (STM)