情報機能素子科学研究室の星川輝さん（博士後期課程2年）が、19th International Thin-Film Transistor Conference (ITC 2025)において、「Best Poster Award」を受賞

受賞概要

国際学会19th International Thin-Film Transistor Conference (ITC 2025)が3月24日から26日まで奈良公園のバスターミナルにて開催されました。情報機能素子科学研究室、博士後期課程2年の星川輝さんが「Best Poster Award」を受賞しました。ITCは薄膜トランジスタの分野で最も権威のある国際会議で、毎年世界各国から参加し、ディスプレイ、センサー、集積回路応用の様々な技術進歩を網羅しています。

受賞対象となった研究タイトル・研究者・研究の内容・受賞者コメント

研究題目・論文タイトル

Crystallization behavior and transistor application of In-Ga-O thin films grown by atomic layer deposition

研究者・著者

星川輝、高橋崇典 (助教)、浦岡行治 (教授)

受賞対象となった研究の内容

これまで酸化物半導体はディスプレイにおける薄膜トランジスタの半導体材料として研究・開発が行われてきました。本研究グループでは、酸化物半導体材料を次世代の集積回路やメモリデバイスに応用することを狙っております。本研究は原子層堆積法で成膜したIn-Ga-O系酸化物半導体の結晶化挙動を明らかにすることを目的として実施されました。我々は成膜原理に基づく膜内構造が膜の結晶化温度を増加させる要因であることを明確化しました。

受賞者コメント

この度は、このような栄誉ある賞を賜り、大変光栄に存じます。本受賞は、日頃よりご指導いただいております浦岡先生ならびに高橋先生のご支援の賜物であり、心より御礼申し上げます。この受賞を励みに、今後も一層研究活動に精進してまいります。